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September 16, 2025

Lam Research और JSR/Inpria क्रॉस-लाइसेंसिंग और सहयोग समझौते के साथ सेमीकंडर विनिर्माण को आगे बढ़ाने

Author: Lam Research Corporation; JSR Corporation

Lam Research और JSR/Inpria क्रॉस-लाइसेंसिंग और सहयोग समझौते के साथ सेमीकंडर विनिर्माण को आगे बढ़ाने

वैश्विक प्रतिस्पर्धा उन्नत सेमीकंडक्टर बनाने के लिए एक नए चरण में प्रवेश कर चुकी है क्योंकि लैम रिसर्च कॉर्पोरेशन और JSR कॉरपोरेशन, Inpria यूनिट के साथ, एक क्रॉस-लाइसेंसिंग और सहयोग समझौते की घोषणा कर रहे हैं जिसका उद्देश्य सेमीकंडर विनिर्माण को तेज करना है। यह व्यवस्था अग्रणी-चिपों के पैटर्निंग पर केंद्रित है, जिसमें ड्राई रेसिस्ट EUV लिथोग्राफी और अगली पीढ़ी की सामग्री के प्रयास शामिल हैं। घोषणा साझेदारी को उपकरण, रसायन विज्ञान, और सामग्री के बीच एक रणनीतिक पुल के रूप में प्रस्तुत करती है—ऐसा संरेखण जो IP मालिकों और लाइसेंसधारकों के बीच घर्षण को कम करने के साथ लैब कॉन्सेप्ट से हाई-वॉल्यूम उत्पादन की ओर संक्रमण को तेज करने की कोशिश करता है। ऐसी बाजार स्थिति में जहां मांग तेज है, सप्लाई चेन की असुरक्षा और प्रक्रिया की जटिलता बढ़ रही है, निर्णायक प्रक्रिया तकनीकों तक पहुंच पाना बिना लंबी licensing वार्ताओं के चिप निर्माताओं के लिए एक महत्त्वपूर्ण विभेदक हो सकता है जो आक्रामक नोड्स का अनुसरण कर रहे हैं। Lam Research वह मुख्य फेब्रिकेशन टूल्स प्रदान करता है जो कटिंग-एज पैटर्निंग में उपयोग होते हैं, जबकि JSR और Inpria विशिष्ट सामग्री प्लेटफॉर्म प्रदान करते हैं जो फीचर्स पर tight नियंत्रण और EUV exposure के तहत मजबूत प्रदर्शन सक्षम करते हैं। संयुक्त कार्यक्रम का मूल विचार है—गति, पूर्वानुमानितता, और पैमाने पर—एक ऐसा तरीका जो लैब से फैब तक नवाचारों को कम बाधाओं के साथ और अधिक विश्वसनीय क्वालिफिकेशन पथों के साथ धकेल दे।

विस्तृत लिथोग्राफी परिदृश्य में यह समझौता पैटर्निंग को वह जटिल bottleneck मानता है जिसने ऐतिहासिक रूप से कभी-भी छोटे होते ट्रांज़िस्टरों की दिशा में प्रगति की दर को सीमित किया है। आधुनिक चिपों के लिए deposition, exposure, और etch की कई राउंड की आवश्यकता होती है, जिनमें फीचर आकार इतने बढ़िया होते हैं कि उन्नत ऑप्टिकल सिस्टम और अत्यधिक अनुकूलित सामग्री की मांग रहती है। ड्राई रेसिस्ट EUV लिथोग्राफी एक महत्वपूर्ण फोकस पॉइंट के रूप में उभरा है क्योंकि यह अगले-जेनरेशन लाइट स्रोतों के साथ एकीकृत होने का वादा करता है जबकि उच्च मात्रा वाले वातावरण में सॉल्वेंट उपयोग और प्रक्रिया विविधता को संभवतः कम कर सकता है। सहयोग की सीमा अगली पीढ़ी की सामग्री—जैसे मेटल-ऑक्साइड रेज़िस्ट और अन्य उन्नत रसायन—पर भी प्रकाश डालती है जो उच्च रिज़ॉल्यूशन, बढ़ी हुई संवेदनशीलता, और दोष नियंत्रण में सुधार कर सकती है। साथ में, Lam और JSR/Inpria इन घटकों का वास्तविक प्रक्रिया परिस्थितियों में परीक्षण और परिष्करण कर सकते हैं, विचार के स्तर से उत्पादन-योग्यता तक अंतर को पाटते हुए। लिथोग्राफी स्टैक के बीच IP को जोड़कर, कंपनियाँ नई सामग्री और प्रक्रिया प्रवाह के परिचय से जुड़ी अनिश्चितताओं को घटाने का उद्देश्य रखती हैं, ताकि विभिन्न फैब और ग्राहकों पर अधिक विश्वसनीय प्रदर्शन मिल सके।

Lam Research और JSR/Inpria अग्रणी-चिपों के लिए उन्नत पैटर्निंग को तेज करने के लिए सहयोग कर रहे हैं।

Lam Research और JSR/Inpria अग्रणी-चिपों के लिए उन्नत पैटर्निंग को तेज करने के लिए सहयोग कर रहे हैं।

विस्तृत लिथोग्राफी परिदृश्य में यह समझौता पैटर्निंग को वह जटिल bottleneck मानता है जिसने ऐतिहासिक रूप से कभी-भी छोटे होते ट्रांज़िस्टरों की दिशा में प्रगति की दर को सीमित किया है। आधुनिक चिपों के लिए deposition, exposure, और etch की कई राउंड की आवश्यकता होती है, जिनमें फीचर आकार इतने बढ़िया होते हैं कि उन्नत ऑप्टिकल सिस्टम और अत्यधिक अनुकूलित सामग्री की मांग रहती है। ड्राई रेज़िस्ट EUV लिथोग्राफी एक महत्वपूर्ण फोकस पॉइंट के रूप में उभरा है क्योंकि यह अगले-जेनरेशन लाइट स्रोतों के साथ एकीकृत होने का वादा करता है जबकि उच्च मात्रा वाले वातावरण में सॉल्वेंट उपयोग और प्रक्रिया विविधता को संभवतः कम कर सकता है। सहयोग की सीमा अगली पीढ़ी की सामग्री—जैसे मेटल-ऑक्साइड रेज़िस्ट और अन्य उन्नत रसायन—पर भी प्रकाश डालती है जो उच्च रिज़ॉल्यूशन, बढ़ी हुई संवेदनशीलता, और दोष नियंत्रण में सुधार कर सकती है। साथ में, Lam और JSR/Inpria इन घटकों का वास्तविक प्रक्रिया परिस्थितियों में परीक्षण और परिष्करण कर सकते हैं, विचार के स्तर से उत्पादन-योग्यता तक अंतर को पाटते हुए। लिथोग्राफी स्टैक के बीच IP को जोड़कर, कंपनियाँ नई सामग्री और प्रक्रिया प्रवाह के परिचय से जुड़ी अनिश्चितताओं को घटाने का उद्देश्य रखती हैं, ताकि विभिन्न फैब और ग्राहकों पर अधिक विश्वसनीय प्रदर्शन मिल सके।

आर्थिक मोर्चे पर सहयोग दो जुड़े हुए फोकस क्षेत्रों पर जोर देता है: ड्राई रेज़िस्ट EUV लिथोग्राफी और अगली पीढ़ी की सामग्री। ड्राई रेज़िस्ट दृष्टिकोण लिथोग्राफी प्रक्रिया को सरल बनाने का एक संभावित मार्ग माने जाते हैं, ताकि पारंपरिक रेज़िस्ट डिपॉज़िशन से जुड़े विलायक और अपशिष्ट संबंधी मुद्दों से बचा जा सके। जैसे-जैसे EUV इमेजिंग प्रगति कर रहा है—गहरे अल्ट्रावायलेट तरंगदैर्ध्यों और उच्च न्यूमेरिकल एपर्चर के द्वारा—Lam के टूलिंग के साथ नई रेज़िस्ट की अनुकूलता अधिक महत्वपूर्ण हो रही है। उसी समय Inpria के मेटल-ऑक्साइड और अन्य उन्नत सामग्री स्टैक विकास तेजतर बनावटों, कम लाइन-एज रफनेस, और डोज़ तथा तापमान विविधताओं के प्रति अधिक मजबूत प्रदर्शन की उम्मीद देते हैं। संयुक्त कार्यक्रम एक्सपोजर रणनीतियों, पोस्ट-एक्सपोजर बेकिंग, और etch संगतता के सह-ऑप्टिमाइज़ेशन को लागू करके पैटर्न fidelity अधिकतम करने की कोशिश करेगा। अगर सफल रहा, तो यह लैब से उत्पादन योग्यता तक समय घटा सकता है, जिससे ग्राहक छोटे नोड्स के फायदे कम इंटीग्रेशन सरप्राइज़ के साथ देख सकेंगे।

ग्राहकों—सेमीकंडक्टर निर्माता और Foundries‑ के लिए व्यवहारिक तौर पर, क्रॉस-लाइसेंसिंग समझौता तेजी से योग्यता चक्र, बेहतर yield, और उन्नत प्रक्रिया प्रवाह के लिए अधिक पूर्वानुमानित लागत में बदले जाने की संभावना है। IP friction कम होने से ईकोसिस्टम लाभान्वित होता है, ताकि अगली पीढ़ी के पैटर्निंग समाधान के विकास और तैनाती में अधिक सप्लायर भाग ले सकें। विविध, अधिक सुलभ IP परिदृश्य आपूर्ति व्यवधानों के खिलाफ भी मजबूती बढ़ा सकता है, जो वैश्विक मांग के उछाल और सामग्री सप्लाई पर असर डालने वाले भू-राजनीतिक तनावों के बीच खास तौर पर महत्वपूर्ण हो गया है। सहयोग का प्रभाव इस बात पर निर्भर करेगा कि IP शर्तें कैसे संरचित की जाती हैं, निष्पक्ष पहुँच और प्रतिस्पर्धी संतुलन बनाए रखने के लिए शासन तंत्र, और Lam तथा JSR/Inpria द्वारा साझा अनुसंधान को दोहराने योग्य उत्पादन जीतों में बदलने की उनकी क्षमता। अगली पीढ़ी के टूलिंग और सामग्री निवेश के बारे में सोच रहे चिपमेकर्स के लिए, डिज़ाइन से फैब तक एक विश्वसनीय, सुव्यवस्थित मार्ग चुनना सप्लायर्स और भागीदारों के चयन में निर्णायक कारक हो सकता है।

आगे देखते हुए, Lam–JSR/Inpria सहयोग एक व्यापक उद्योग परिवर्तन का संकेत देता है जो सेमीकंडक्टर विनिर्माण के लिए एकीकृत, ईकोसिस्टम-जैसे मॉडलों की ओर है। यह कदम उपकरण सप्लायर्स और सामग्री डेवलपर्स के बीच करीबी संरेखण की प्रवृत्ति का प्रतिबिंब है क्योंकि फाब्स प्रोसेस विंडो और yield पर लगातार अधिक नियंत्रण चाहते हैं। अगर साझेदार अपने क्रॉस-लाइसेंसिंग से ठोस प्रदर्शन सुधार खोल सकते हैं—जैसे उच्च रिज़ॉल्यूशन कम दोषपूर्णता पर, अधिक स्थिर प्रोसेस विंडो, और भविष्य के EUV स्रोतों के साथ बेहतर संगतता—तो यह कार्यक्रम लिथोग्राफी स्टैक के लिए समान गठजोड़ों के लिए एक टेम्पलेट बन सकता है। अगले कदम संभवतः चरणबद्ध कार्य कार्यक्रम, संयुक्त क्वालिफिकेशन कैंपेन, और ऐसी शासन संरचनाएं होंगी जो पारदर्शी माइलस्टोन और उचित पहुँच सुनिश्चित करें। परिणाम यह होगा कि चिपमेकर्स क्रिटिकल प्रोसेस स्टेप्स को स्रोत और सत्यापित कैसे करें, संभवतः रेज़िस्ट सामग्री की मूल्य निर्धारण गतिशीलता और लिथोग्राफी टूल्स की खरीद-नीतियों को आकार दें। IP शर्तों के विशिष्ट विवरण अभी सार्वजनिक नहीं हैं, पर रणनीतिक तर्क स्पष्ट है: उपकरण, सामग्री, और IP को एक समन्वित सहयोग के अंतर्गत जोड़कर उद्योग एक अधिक मजबूत, सक्षम, और तेज मार्ग toward Tomorrow के उन्नत चिप्स की ओर देता है।

अंततः, इस क्रॉस-लाइसेंसिंग और सहयोग का महत्त्व एक प्रेस विज्ञप्ति तक सीमित नहीं है। यह सेमीकंडक्टर इकोसिस्टम की व्यापक परिपक्वता को दर्शाता है—यह समझ कि डिवाइस प्रदर्शन में बड़े बदलाव केवल व्यक्तिगत घटकों में वृद्धिकर सुधार से नहीं होते, बल्कि डिज़ाइन, सामग्री विज्ञान, और विनिर्माण गतिविधियों को एकीकृत करने वाले संयुक्त दृष्टिकोण से आते हैं। अगर Lam के उपकरण क्षमताओं को JSR/Inpria की अगली पीढ़ी की सामग्री के साथ इस प्रकार जोड़ा जा सके कि पैटर्न fidelity और दोष नियंत्रण में ठोस लाभ मिले, तो उद्योग शायद टेक्नोलॉजी ट्रांज़िशन की गति में वास्तविक तेजी देखेगा। शासन—स्पष्ट मीलस्टोन्, पारदर्शी मीट्रिक्स, और साझा प्रतिबद्धताएं—इस बात को सुनिश्चित करने के लिए अनिवार्य होंगे कि दोनों पक्ष गठजोड़ से दीर्घकालिक मूल्य प्राप्त करें। अभी के लिए, यह घोषणा lithography के चल रहे विकास का एक उल्लेखनीय क्षण है—एक ऐसा क्षेत्र जहां क्रमिक प्रगति वास्तविक, वास्तविक विश्व लाभों में परिणत होती है जो दुनिया के सबसे उन्नत सेमीकंडक्टर उपकरणों के लिए है।